更新時間：2025-02-23
RGA 殘余氣體分析儀殘余氣體分析儀用于半導體過程分析分子束外延 MBE-物理氣相沉積 PVD-化學氣相沉積 CVD-原子層沉積 ALD-鑒別痕跡污染物 Identification of trace contaminants-材料滲透率測試 Material pereability test
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RGA 殘余氣體分析儀殘余氣體分析儀用于半導體過程分析分子束外延 MBE
-物理氣相沉積 PVD
-化學氣相沉積 CVD
-原子層沉積 ALD
-鑒別痕跡污染物 Identification of trace contaminants
-材料滲透率測試 Material pereability test
RGA 殘余氣體分析儀公司一直致力于質譜研發與市場應用，公司研發團隊來自于高校、研究所和真空行業，具有十年以上的研發經驗。PGT系列是由專業團隊自主研發的國產RGA。憑借對質譜研發的深入和的產品設計以及完善的服務體系，為不同領域的客戶提供完整的應用解決方案。ACT已成為國內多家院校和半導體企業的優質合作伙伴，并且擁有穩定可靠的供應商體系，儀器在兼具高質量的應用中性價比，是廣大用戶的理想選擇產品。
RGA 殘余氣體分析儀技術參數 | ||||
型號 | PGT100F | PGT100M | PGT200F | PGT200M |
傳感器長度 | 14.4cm | 19.6cm | 14.4cm | 19.6cm |
質量數范圍 | 100amu | 100amu | 200amu | 200amu |
分辨率（1） | <1amu | <1amu | <1amu | <1amu |
燈絲類型選項 | 涂覆氧化釔銥絲雙燈絲/雙鎢燈絲 | 涂覆氧化釔銥絲雙燈絲/雙鎢燈絲 | 涂覆氧化釔銥絲雙燈絲/雙鎢燈絲 | 雙涂覆氧化釔銥絲雙燈絲/雙鎢燈絲 |
檢測器類型 | FC | EM | FC | EM |
靈敏度（FC） | 2.3E-6A/Pa | 2.3E-6A/Pa | 2.3E-6A/Pa | 2.3E-6A/Pa |
靈敏度（EM） | - | 3.8A/Pa | - | 3.8A/Pa |
最小可檢測分壓（2） | 3.5E-10Pa | 2E-12Pa | 3.5E-10Pa | 2E-12Pa |
最大傳感器工作溫度（FC） | 200℃ | N/A | 200℃ | - |
最大傳感器工作溫度（EM） | - | 150℃ | - | 150℃ |
溫度系數（3） | <1%/℃ | <1%/℃ | <1%/℃ | <1%/℃ |
最大烘烤溫度 | 300℃ | 300℃ | 300℃ | 300℃ |
最大數據速率/點 | 2ms | 2ms | 2ms | 2ms |
最大工作壓強 | 6.7E-2Pa | 6.7E-2Pa | 6.7E-2Pa | 6.7E-2Pa |
電源輸入 | 24V（DC） | 24V（DC） | 24V（DC） | 24V（DC） |
（1）在10%峰高處 （2）駐留時間為256ms情況下 （3）在8h的時間段內，半小時預熱后，僅FC模式 | ||||
尺寸 | ||||
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